ESD培训教程 斯比泰电子（深圳）有限公司 SHENZHNE SPEEDY－TECH ELECTRONICSCO.,LTD ESD委员会 培训内容 ESD的定义及其防护意义 ESD危害,及其相关术语 ESD的产生 ESD防护在实际生产中的应用 生产中的ESD自检 总结 ESD的定义及其防护意义 定义 ESD=Electrostatic Discharge ≈Electrostatic Damage，意指静电放电，由于不等电位电荷由一个物体快速瞬间的转移到另一个物体的过程. 在这个过程中会产生强大的静电放电脉冲电流,一旦经过静电敏感器件,就会导致器件失效. 造成Electrostatic Damage. 1KV 20V + + + + 随着半导体工艺技术的进步,制造出的芯片几何寸和线宽越来越小,而脚位却越来越多, 这使得IC更加容易受ESD问题的影响. 发展到如今的低电导封装技术却没有相应的提高芯片的本征电阻以应对键合产生的高频ESD脉冲. 没有考虑材料类型的自动化系统的应用最终导致器件的失效. ESD的定义及其防护意义 ESD的定义及其防护意义 ESD防护没有做好,会导致以下严重问题: ESD的危害,及其相关术语 ESD的危害: 失效的电子设备有60%~75%是由ESD造成的;对于新兴技术行业(尤其是高科技微电子,半导体,电磁敏感类,及光器件的应用),这种比例将上升至90%. 因静电原因而对电子行业造成的损失每年达几百亿美元或更多. ESD的危害,及其相关术语 静电放电能够产生高脉冲电流,同时产生高频脉冲干扰，导致设备收到错误指令而产生误操作，从而对产品或设备产生危害。 静电放电能导致微电子器件损坏或击穿,同时可引起功能退化或潜在性失效 . ESD pulse ESD损坏表征图 ESD的危害: ESD的定义,危害,及其相关术语 ESD的相关术语: 导体:表面电阻小于104 Ω,电何荷可以在其上面快速移动. 防静电材料(Antistatic or dissipative material):表面电阻在104~1011Ω范围内的材料,电荷可以在其上面缓慢的移动; 绝缘材料(或为高静电材料):表面电阻大于1011 Ω,电荷在其上面没法移动. 防静电区域(EPA,ESD Protected Area):代表此区域中的人,机,料,法,环均有ESD防护措施.ESD敏感器件可在此区域进行处理. 静电(Static Charge):即为静止的电荷. ESD的产生 静电［static charge］的产生 静电放电事件［ESD event］的产生 ESD产生的几种模型 ESD的产生 静电［static charge］的产生 静电产生主要由两种方式： a. 接触与分离起电，即摩擦起电。 b.感应起电［charged by field induction］ +++++ - - - - - +++++ ESD的产生 静电放电事件［ESD event］的产生 a.不等电位体间的直接金属接触产生瞬间高速放电。 ESD事件==不等电位体［带电设备］+金属接触。 b.设备体两端不等电位产生高压击穿［breakdown］。 ESD事件==不等电位+高压击穿。 ESD的产生 ESD产生的几种模型 a. HBM［Human Body Model］--人体模型。 带电人体触摸ESD敏感设备产生ESD放电事件!----放电时间约为150ns(纳秒) ESD的产生 ESD产生的几种模型 b. CDM［Charged Device Model］--带电器件模型。 带电设备通过小电阻路径向大地放电，产生强大的ESD电流导致产品破坏! ----放电时间约为1~3ns. ESD的产生 ESD产生的几种模型 c.MM［Machine Model］---机器模型。 带电的机器放电到敏感器件，产生强大的瞬间放电电流! -------放电电间小于10ns. ESD防护在实际生产中的应用 人体综合电阻测试包括防静电手腕带和防静电鞋测试，必须通过并记录。 人体综合测试仪 防静电手腕带测试 人的ESD防护 ESD防护在实际生产中的应用 人的ESD防护 正确穿防静电衣，无非防静电的衣服或饰物 外露。 ESD防护在实际生产中的应用 人的ESD防护 正确穿防静电鞋，如穿了非防静电袜，导电鞋束应塞入袜中与皮肤良好接触。 非防静电袜 导电鞋束 ESD防护在实际生产中的应用 人的ESD防护 两只手必须戴手套 防静电手腕带必须配戴 车间内部的产品或物 料传送或周转等,必须 两只手都戴防静电手 套 ESD防护在实际生产中的应用 人的ESD防护 在生产前目视生产工位周围是否有接地线断，松脱，接触不良等现象，一旦发现，立刻更正或告知领班通知相关人维护。 生产线所有的AC驱动工具［包括烙铁，电动批等］在每天生产前必须用万用表测试接地电阻和漏电压［接地电阻<10，AC漏电压<0.5V］并通过和记录方可使用。 静电台垫接地 烙铁 电批 ESD防护在实际生产中的应用 机器设备的ESD防护