本文通过运用DEA模型，通过分析比较设备供应商的多项指标，最
终为集成电路制造企业从纯技术上找到最合适的设备供应商，为企业的发
展提供强大的动力支持。

本文以N公司为具体的例子综合运用所学的知识，再利用专业的
DEAP软件作为计算工具，为N公司在选择设备供应商时做出理论计算，
然后运用到实际的采购工作之中，最后以设备的效益作为选择结果的检
验。

设备供应商的评价与选择是制造企业运行的基矗设备供应商的成绩
对制造企业的影响举足轻重，主要表现是在交货周期、产品质量、运行速
度、产品先进性等方面。

关键词:半导体、集成电路制造、数据包络分析、设备供应商