發 行 日 期
年 月 日
參考規章：
2I-0000014-A1
有 效 日 期
年 月 日
沿
革
版序
A1
B1
生 效 日
2005.1.17
新增
變更
ｖ
沿用
廢止
總 頁 數
11頁
內
容
摘
要
說
明
項次
頁次
項次
頁次
一、背景八、作業系統流程圖二、理念政策九、內容說明
2-7
三、目的十、附件
7-11
四、適用範圍五、權責單位六、相關文件七、定義會
審
單
位
單 位
簽 章
單 位
簽 章
分
發
單
位
單 位
簽章
單 位
簽章
A10
A10
J00
J00
文件分送
(不列入管制)
(廠區/對應單位)
(文件分送目的)
CM/
CT/
CC/
█不必分送.
1.請建立相應或相同的SOP. 2.僅供參考.3.其他﹕
1.請建立相應或相同的SOP. 2.僅供參考.3.其他﹕
(請說明)
制定單位
制程工程部工程一課
制定日期
2005年9月29日
製 作
初審
複 審
核
准
經(副)理
廠長/協理
處長/副總
總經理
馬定安
傳 閱
背景沿革一覽表
日期
版序
新增或修訂背景敘述
修訂者
2005/1/17
2005/9/29
A1
B1
無塵室之環境對曝光及線路品質影響較大，故需對其進行有效管控，建立該規範，以便現場有作業依據。
因有效保持無塵室清潔度，新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套．使現場能照著做，並有依可循.
此SOP原自于CM/CC移轉； v此SOP為CF廠自行建立
馬定安
馬定安
修訂一覽表
日期
版序
章節段落
修訂內容敘述
2005/1/17
2005/9/29
A1
B1
ALL
P3 3-1
新增
新增無塵室戴無塵口罩及無塵鞋套
製造一課無塵室管理辦法
一、背景:
公司目前生產軟板等產品，必須建構更高等級的無塵室(10,000級)，以提昇良率，增進公司整體競爭力。
二、理念政策:
建構及管理能滿足客戶產品需求之無塵室。
三.、目的:
維持無塵室內人員、機台、產品、物料之清潔，以確保生產品質之穩定性。
四、適用範圍:
適用華通精密線路板(惠州)有限公司制造一課無塵室。
五、權責單位:
各無塵室生產單位負責本規定之執行及一階自我查核是否照著規定做.
六、相關文件:
無
七、定義:
1、FM:
Foreign Material(外來異物)-指所有可能落在板面上，造成板子報廢的灰塵或異物，皆統稱為FM。
2、無塵室等級之定義:
無塵室等級是依美國聯邦標準209C,以空氣中每立方英呎內所測得落塵顆粒,粒徑在0.5(m以上之粒子總數來判斷(如下表)。例如10,000級無塵室其0.5(m以上之粒子總數須少於10,000顆。
無塵室等級
各種大小顆粒所允許的數目上限值
0.1um
0.2 um
0.3 um
0.5 um
5 um35.0
7.5
3.0
1.0
10
350
75
30
10
100
750
300
100
1000
100010000
10000
70
3.制造一課無塵室等級為10000級
八、作業系統流程圖:
九、內容說明:
(一)、人員進出之管理
1-1、10,000級無塵室人員進出流程圖
鞋櫃(無塵室外) 無塵衣鞋櫃
腳踏黏墊 腳踏黏墊
※備註:空氣洗塵時:
吹氣維持15秒以上,吹完氣後須等至少3秒才能開門進入無塵室。
一次最多只能2人進入，出無塵室亦同。
嚴禁空氣浴室兩邊門同時打開。
1-2、人員管制：進入無塵室的人員須經過認證後，才准許進入，包括：
該單位之作業人員,技術員,工程師及主管。
負責該單位之保全人員,工務,品管,製程工程師及技術員等。
隸屬於華通公司之其他人員。
維護設備之外包廠商。（廠商除須經過認證許可外，事先尚須徵求單位主管同意）。
有緊急事故時,警衛及值班主管可進入。
(二)、物品進出之管理
2-1、物品進出相關規定：
(1)、無塵室清潔用具於使用時才進無塵室(10K級無塵室空間不足者不在此限)，無塵室不可設置雜物堆置區。
(2)、紙箱包裝之物品須事先拆箱後，再將物品經傳遞箱傳送至無塵室內(除裝底片的紙箱外其它紙箱不可進無塵室)。
(3)、鉛筆,橡皮擦,紙箱,保麗龍,一般紙類等易掉屑物品，禁止攜入無塵室。
(4)、無塵紙若有破損須立即更換，不可使用裁切後之無塵紙(會起毛邊)。
(5)、不掉屑毛筆可在無塵室內使用，但若有掉毛情況應立即更換。
(6)、搬遷設備進出無塵室前須先經工程師以上主管的同意，安排於非生產日搬遷，以避免因開啟設備門造成潔淨度下降，影響作業品質。無塵室須設Buffer Zone(緩衝區)，先將設備於Buffer Zone清潔後靜置至少30分鐘再送入。
(7)、搬遷設備進出無塵室, 高架地板表面須先鋪設已清潔過之材料, 避免地板表面刮傷，或以油壓板車等工具進行設備之移動及定位, 才不會造成地板被損傷。
(8)、更衣室內應有保全人員維修專用之工具箱，且其內的工具不可帶出無塵室。
(9)、任何物品於無塵室內時，應儘量避免有碰撞或敲打的情況發生，以免FM產生，污染無塵室。
(10)、私人物品不可攜入。
(11)、其余非必要物品，避免帶入無塵室內。
2-2、物品進入無塵室前之清潔規定：
2-2-1、物品清潔順序：
用吸塵器吸：用無塵室專用吸塵器﹐將物品的各部位吸干淨﹐一般運用於較大件物品﹐例如：各項機台設備。小件物品不在此限。（真空吸塵器於使用前﹐須確認其吸塵效果能達到所要求之清潔水準）
用無塵紙沾酒精擦拭：將物品的
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