摘要
半导体制造业技术水平的高低及产业规模的大小己成为衡量一个国家科学技术、经
济发展和国防实力的重要标志，在我国国民经济中有着特殊的地位和意义。半导体设备
管理的效果直接影响公司生产系统的产能及产品品质，目前，由于半导体设备管理系统
尚不完善，对设备的综合利用率尚未有效全面挖掘，一定程度上影响了公司的产能和质
量。因此，建立一套良好有效的设备管理系统，对半导体公司在日益激烈的市场竞争中
具有关键作用。本文旨在通过对S半导体公司设备管理系统的实际应用，阐述作者的研
发成果，并希望在半导体行业得到推广。

本文首先运用SWOT方法分析S公司在半导体行业竞争力的优劣势，在国内外研
究理论的基础上，提出目前本公司的发展瓶颈在于如何提高设备的综合利用率。作者将
目前世界上先进的MES系统运用至S公司设备管理中，并结合半导体设备自动化程度
高且具有高端技术的特性，对MES系统进行二次开发，对系统中的各个模块综合分析
评估，并经过合理有效整合，提高半导体设备的综合利用率。S公司实际运用证明，经
整合后的MES设备管理系统能为本公司降低成本、提升产能。

关键词:半导体设备;设备管理系统;制造执行系统(MES);产能