1.0 适用范围
2.0 作业流程
3.0 仪器/工具/材料
4.0 注意事项
5.0 各种表单
5.0.1 《单晶炉热煅烧记录》
作业指导书
石墨件煅烧DOC.#：文件号
REV：版本:
Reason(s) for Update 更新原因： PRODUCT产品：
CUSTOMER客户：
WORK STATION 工序名称：
PAGE 页：
规范单晶炉石墨件煅烧作业。

制炉压在1300Pa，继续中温烘烤0.5-2小时；
2.0.1 按加热启动按钮，升功率至30KW（低温功率），炉膛发高后检查炉膛是否有热点和漏电现象；
2.0.2 半小时后，再调温度控制器，升功率至60KW，观察电流表和电压表，是否有异常摆动现象，如果有异常，控
3.0.1 笔、记录本。

2.0.3 90KW功率恒温烧足4小时，注意中温升至高温阶段升温不能过快，加功率幅度不能太大，分多次慢速升至高
温功率；
2.0.4 6小时后停止加热，关氩气，抽真空，观察真空度上升情况，直到接近8Pa或更低水平；
2.0.5 第二次煅烧时间设定，30KW半小时，60KW半小时，90KW6小时，第三次煅烧时间设定，30KW半小时，60KW半
小时，90KW8小时，加热过程要注意是否有过流或加热器打火现象，连续两次出现加热器报警现象应作停炉
处理，等冷却后，打开炉子检查，是否存在异常问题，如有异常应检修后重新煅烧；
2.0.6 新热场煅烧两次后必须大清，调整好热场位置，调好上下水平、对中，调整上下限位，并记下限位，第三次
煅烧无异常后可以投料生产。。。