仅供内部参考，请勿外传 新能源汽车行业锂电池产业链专题报告 一张图看懂汇成真空 中信证券研究部新能源汽车组袁健聪/李鹞 2023年3月21日 请务必阅读末页的免责条款和声明 仅供内部参考，请勿外传 真空镀膜技术 三类真空镀膜技术 真空磁控溅射镀膜 真空蒸发镀膜 真空离子镀膜 用高能等离子体轰击靶材，并 使表面组分以原子团或离子形 式被溅射出来，并沉积在基片 表面，经历成膜过程，最终形 成薄膜 ? 加热膜材使表面组分以原子团 或分子团形式被蒸发出来，并 沉降在基片表面形成薄膜 ? 在真空条件下，利用气体放电 使工作气体或被蒸发物质（膜 材）部分离化，在工作气体离 子或被蒸发物质的离子轰击作 用下，把蒸发物或其反应物沉 积在被镀基片表面 ? 1 资料来源：汇成真空招股说明书 仅供内部参考，请勿外传 工艺流程 真空镀膜设备工艺流程 ? 公司产品主要是真空镀膜设备，其生产工艺流程主要包括产品设计、生产装配、自动化控制、检测调试等环节。 2 资料来源：汇成真空招股说明书 仅供内部参考，请勿外传 工艺流程 真空镀膜设备工艺内容 3 资料来源：汇成真空招股说明书 仅供内部参考，请勿外传 真空镀膜设备行业产业链 ? 真空镀膜设备,其上游厂商为机械配件类、真空泵类、电源类、真空腔体、电气类等原材料生产企业，下游则为消 费电子、家居生活、工业等领域。 4 资料来源：汇成真空招股说明书