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Table_BaseInfo
2022年09月23日行业深度分析
半导体证券研究报告
市场规模大，品类众多，半导体零部
投资评级领先大市-A
件国产化前景可期维持评级
Table_FirstStock
首选股票目标价评级
■零部件是半导体设备核心，市场规模超400亿美元：半导体设备结
构复杂，由成千上万个零部件组成，零部件的性能、质量和精度都共
同决定着设备的可靠性与稳定性，零部件是半导体设备是延续半导体
Table_Chart
行业“摩尔定律”的瓶颈和关键。一般来说，零部件采购额占据半导行业表现
体设备生产成本的80%左右，按此推算，预计2021年全球半导体零半导体(中信)沪深300
56%
部件市场规模439亿美元。46%
36%
26%
16%
■零部件品类众多，单一产品市场集中度高：半导体零部件数量庞6%
-4%
大、种类繁多，碎片化特征明显。按照业内主流的零部件划分方式，2021-032021-072021-11
-14%
半导体零部件可以划分为机械类、电器类、机电一体类、气体/液体/
资料来源：Wind资讯
真空系统类、仪器仪表类、光学类和其他零部件。总体来看，全球前单击此处输入文字。
升幅%1M3M12M
十大半导体零部件供应商的市场份额总和趋于稳定在50%左右，由于相对收益-11.87-17.4973.77
半导体零部件对精度和品质的严格要求，就单一半导体零部件而言，绝对收益-22.16-38.2955.33
往往会出现仅有几家供应商的局面，集中度远高于50%。
马良分析师
SAC执业证书编号：S1450518060001
maliang2@essence
■技术壁垒高，国产化率低：半导体零部件技术壁垒高，其研发设021-35082935
计、制造和应用涉及到材料、机械、物理、电子、精密仪器等跨学郭旺分析师
SAC执业证书编号：S1450521080002
guowang@essence
科、多学科的交叉融合。总体来看，目前大部分零部件均被海外巨头Table_Report
相关报告
垄断，例如在静电吸盘领域，基本由美国和日本半导体企业主导，市
场份额占95%以上。根据芯谋研究数据，石英、反应腔喷淋头、边缘
环等自给率大于10%，各种泵、陶瓷部件国内自给率在5%-10%之
间，射频发生器、机械手、MFC等自给率在1%-5%之间，阀门、测
量仪器等自给率甚至不到1%，半导体零部件整体国产化率处于较低
水平。
■部分品类率先突破，国产化快速推进：国内厂商在某些细分品类零
部件率先突破，例如机械类零部件，国内如新莱应材、江丰电子、富
创精密等均有相应产品布局，并在国内龙头半导体设备公司份额快速
提高。在阀门领域，国内企业新莱应材也具备了国产替代能力。在射
频电源领域，英杰电气率先实现突破，正在从MOVCD设备往更多半
导体设备拓展。在真空泵上，汉钟精机在光伏领域已经占据主要份
额，半导体客户也开始出货，正处于快速成长阶段。
■投资建议：推荐国内高纯洁净材料龙头新莱应材、气体输送系统龙
本报告版权属于安信证券股份有限公司。1
各项声明请参见报告尾页。
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头万业企业，从清洗设备切入半导体零部件的至纯科技，建议关注零
部件业务快速增长的江丰电子、国内平台型零部件企业富创精密、国
内真空泵领先企业汉钟精机、半导体精密运动控制系统龙头华卓精
科、国内领先的工艺介质系统供应商正帆科技。
■风险提示：市场竞争风险、产品开发不及预期、下游需求衰减、业
务经营风险。
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各项声明请参见报告尾页。
行业深度分析/半导体
内容目录
1.零部件是半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高.........6
1.1.半导体零部件是决定半导体产业高质量发展的关键领域...........6
1.2.半导体设备由多个子系统组成，零部件数量庞大、种类繁多...........7
1.3.多学科交叉融合，复合型技术壁垒高...........9
2.市场空间大，零部件交期拉长限制下游扩产需求..............10
2.1全球半导体零部件市场规模超400亿美元.........10
2.2半导体零部件短缺限制设备产能提升..........12
3.海外巨头垄断市场，国产率低..............13
3.1射频电源：AE和MKS垄断，英杰电气实现突破............16
3.2机械类：品类众多，国产化快速推进..........18
3.3真空泵：Edwards以及Ebara占据主要份额，汉钟精机、中科仪实现突破........21
3.4阀门：海外巨头垄断，新莱应材份额快速提高.........23
4.相关公司..................26
4.1.新莱应材：国内半导体高纯洁净材料龙头，腔体、管道、阀门技术领先.....26
4.2.万业企业：收购CompartSystems布局零部件，气体输送系统领域全球领先....28
4.3.江丰电子：国内靶材龙头，布局半导体零部件打开成长空间.........30
4.4.富创精密：专注金属零部件，打造平台型公司.........31
4.5.汉钟精机：光伏真空泵龙头，拓展半导体业务打开国产替代空间.........33
4.6.华卓精科：国内半导体精密运动控制系统龙头.........35
4.7.正帆科技：国内领先的工艺介质系统供应商，加码电子特气、半导体零部件.....36
4.8.至纯科技：半导体清洗设备快速成长，布局半导体设备零部件助力国产化..38
图表目录
图1：半导体零部件在半导体产业链中的地位..........6
图2：五大关键的半导体零部件成本占比（2021年数据）............8
图3：陶瓷静电卡盘...................10
图4：精密零部件是半导体行业的重要支撑.............11
图5：全球和中国大陆半导体设备市场规模（单位：亿美元）............12
图6：2021年全球半导体设备市场市占率（单位：亿美元）......12
图7：全球TOP5半导体设备厂商毛利率...............12
图8：国内典型半导体设备厂商成本中直接材料占比............12
图9：半导体资本开支及预测（单位：亿美元）............12
图10：半导体零部件交期持续拉长.................13
图11：全球前10大半导体零部件厂商份额...........14
图12：半导体零部件国产化率情况.................16
图13：全球半导体刻蚀设备市场规模（单位：亿美元）.............16
图14：全球半导体薄膜沉积设备市场规模（单位：亿美元）......16
图15：MKS半导体业务...................17
图16：MKS营收结构（单位：百万美元）............17
图17：MKS分部门毛利率...............17
图18：MKS公司营收情况（单位：百万美元）............18
图19：MKS公司盈利情况（单位：百万美元）............18
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fUdVeYxXpPnO9PbPaQpNpPnPtRiNnNuNiNnPrP6MrQpQvPqMoMNZrQoM
行业深度分析/半导体
图20：英杰电气营收情况（单位：亿元）.............18
图21：英杰电气半导体业务营收及毛利率（单位：亿元）..........18
图22：部分半导体机械类零部件图示.............19
图23：Ferrotec营收情况（单位：亿美元）..........19
图24：京鼎精密营收情况（单位：亿元）.............19
图25：Ferrotec半导体产品线.................20
图26：京鼎精密全球产能布局.................20
图27：新莱应材管道管件产品图示.................21
图28：干式真空泵产品图示.............21
图29：2021年全球半导体真空泵市场份额............22
图30：2021年全球半导体真空泵主要厂商介绍............23
图31：全球半导体阀门市场规模预测（单位：亿美元）.............24
图32：2021年全球半导体阀门市场份额...............24
图33：2021年VAT公司分市场营收占比..............24
图34：VAT公司市场份额.................24
图35：Parker营收情况（单位：亿美元）............25
图36：Parker盈利情况（单位：亿美元）............25
图37：新莱应材阀门图.............25
图38：盛机电产品图.................25
图39：新莱应材发展历程.................26
图40：新莱应材高纯洁净产品系列.................27
图41：新莱应材营收结构（单位：亿元）.............27
图42：新莱应材分业务毛利率.................27
图43：新莱应材营收情况（单位：亿元）.............28
图44：新莱应材盈利情况（单位：亿元）.............28
图45：CompartSystems主要产品................28
图46：万业企业营收结构（单位：亿元）.............29
图47：万业企业分业务毛利率.................29
图48：万业企业营收情况（单位：亿元）.............30
图49：万业企业盈利情况（单位：亿元）.............30
图50：江丰电子半导体零部件业务合作厂商..........30
图51：江丰电子2021年营收结构（单位：亿元）..............31
图52：江丰电子分业务毛利率.................31
图53：江丰电子营收情况（单位：亿元）.............31
图54：江丰电子盈利情况（单位：亿元）.............31
图55：富创精密部分具体产品在刻蚀设备中的应用示例.............32
图56：富创精密营收结构（单位：亿元）.............33
图57：富创精密分业务毛利率.................33
图58：富创精密营收情况（单位：亿元）.............33
图59：富创精密盈利情况（单位：亿元）.............33
图60：汉钟精机半导体真空泵产品.................34
图61：汉钟精机营收结构（单位：亿元）.............34
图62：汉钟精机分业务毛利率.................34
图63：汉钟精机营收情况（单位：亿元）.............35
图64：汉钟精机盈利情况（单位：亿元）.............35
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行业深度分析/半导体
图65：华卓精科营收情况（单位：亿元）.............36
图66：华卓精科盈利情况（单位：亿元）.............36
图67：正帆科技发展历程.................37
图68：正帆科技2021年营收结构（单位：亿元）..............37
图69：正帆科技分业务毛利率.................37
图70：正帆科技营收情况（单位：亿元）.............38
图71：正帆科技盈利情况（单位：亿元）.............38
图72：至纯科技营收结构（单位：亿元）.............39
图73：至纯科技分业务毛利率.................39
图74：至纯科技营收情况（单位：亿元）.............39
图75：至纯科技盈利情况（单位：亿元）.............39
表1：主要零部件产品及其主要服务的半导体设备..........7
表2：半导体设备八大子系统及构成.................7
表3：半导体全部品类零部件具体情况..............9
表4：半导体不同品类零部件技术难度情况............10
表5：全球主要半导体零部件领先厂商............15
表6：2021公司可转债募投项目.............38
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