犐犆犛７７．０４０ 犎２１ 中华人民共和国国家标准 犌犅／犜５２５２—２０２０ 代替ＧＢ／Ｔ５２５２—２００６ 锗单晶位错密度的测试方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犱犻狊犾狅犮犪狋犻狅狀犱犲狀狊犻狋狔狅犳犿狅狀狅犮狉狔狊狋犪犾犵犲狉犿犪狀犻狌犿 ２０２００６０２发布２０２１０４０１实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 !　　" 　　!"#$%ＧＢ／Ｔ１．１—２００９&'()*+,。 !"#-.ＧＢ／Ｔ５２５２—２００６《/0123456789:;<》。!"#= ＧＢ／Ｔ５２５２—２００６ >?，@ABCDEFGHIJKLMN： ———DEO"#PQRS（TU１V，２００６WX(U１V）； ———YZO)RC[Q\]（TU２V）； ———DEOJ^_`a（TU３V，２００６WX(U２V）； ———DEO;é?d(456@xAo2378。 ５　,>9?@ @BC.DE，9g.Fk.GQH-o.FIJ.((gl，.QK(.LM.Nè１２ＭΩ·ｃｍ。 ５．１　OPLQ［Ｋ３Ｆｅ（ＣＮ）６ ］，R:.x.Nè９９％。 ５．２　STLQ（ＫＯＨ），R:.x.Nè８５％。 ５．３　SUV（ＨＦ），R:.x.Nè４０％。 ５．４　WV（ＨＮＯ３），R:.xo６５％～６８％。 ５．５　XTLS（Ｈ２Ｏ２），R:.x.Nè３０％。 ５．６　WVYZ[：R:.xo１０％，QR:.x.Nè９９％(Ｃｕ（ＮＯ３）２ \i。 ５．７　].[：ＨＦ、ＨＮＯ３ (^.[，.??o１∶（１～３）。 ５．８　45[ Ａ：_`OPLQ８０ｇ、STLQ１２０ｇvèabk，Q１０００ｍＬKZc，^d。 ５．９　45[Ｂ：ＨＦ、ＨＮＯ３ (^.[，.??o１∶４。 ５．１０　45[Ｃ：ＨＦ、ＨＮＯ３、１０％Ｃｕ（ＮＯ３）２ Z[(^.[，.??o２∶１∶１。 ５．１１　45[Ｄ：ＨＦ、Ｈ２Ｏ２、１０％Ｃｕ（ＮＯ３）２ Z[(^.[，.??o２∶１∶１。 ５．１２　eLfgn（hij）klimn：o8.pè１４μｍ。 １ 犌犅／犜５２５２—２０２０ ６　ABCD ６．１　h>