北京市地 方标准DB11/T 1544—2018清洁生产评价指标体系集成电路制造业Assessmentindicatorsystemofcleaner production for integratedcircuitsmanufacturingindustry2018 -06-15 发布201 8-10-01 实施北 京 市 质 量技 术 监 督 局D B 1 1 / T1 5 4 4 — 2018前言......................................................................................iii 范围.....................................................................................i2 规范性引用文件.......................................................................... 13 术语和定义.............................................................................. 14 评价指标体系............................................................................ 35 指标计算与评价方法......................................................................56 数据统计与采集.......................................................................... 9D B 1 1 / T1 5 4 4 — 2018本标准主要起草单位：中国航空综合技术研究所、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、北京燕东微电子有限公司、威讯联合半导体(北京)有限公司、瑞萨半导体(北京)有限公司。本标准主要起草人：贾爱娟、李亚健、蔺増金、徐祯梓、魏会敏、徐伯捃、刘波林。D B 1 1 / T1 5 4 4 — 2018本标准规定了硅基集成电路芯片制造和集成电路封装清洁生产的评价指标体系、指标计算与评价方本标准适用于硅基集成电路芯片制造企业和集成电路封装企业清洁生产审核、评估和绩效评价工作。下列文件对于本标准的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本标准。GB/T 7475水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法GB/T 7484水质氟化物的测定离子选择电极法GB/T 7485水质总砷的测定二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法GB/T 7494水质阴离子表面活性剂的测定亚甲蓝分光光度法GB/T11912水质镍的测定火焰原子吸收分光光度法GB 17167用能单位能源计量器具配备和管理通则GB/T 23331能源管理体系要求GB/T 24001环境管理体系规范及使用指南GB/T 26125电子电气产品六种限用物质的检测方法GB/T 26572电子电气产品中限用物质的限量要求GB/T 26719企业用水统计通则HJ/T 43 固定污染源排气中氮氧化物的测定盐酸萘乙二胺分光光度法HJ/T1 9 5 水质氨氮的测定气相分子吸收光谱法HJ 5 4 4 固定污染源废气硫酸雾的测定离子色谱法HJ 6 8 8 固定污染源废气氟化氢的测定离子色谱法（暂行）HJ 8 2 8 水质化学需氧量的测定重铬酸盐法DB 11/307水污染物综合排放标准DB 11/501大气污染物综合排放标准GB/T 2589—2008界定的以及下列术语和定义适用于本标准。为了便于使用，以下重复列出了GB/T用能单位在统计报告期内实际消耗的各种能源实物量，按规定的计算方法和单位分别折算后的总和。对企业，综合能耗是指统计报告期内，主要生产系统、辅助生产系统和附属生产系统的综合能耗总和。企业中主要生产系统的能耗量应以实测为准。市政自来水、地表水及地下水。企业在生产过程中用于制造、加工、冷却、空调、净化、洗涤等方面的新鲜水量。在生产过程中，单位产品产生污染物的量及单项污染物