目 次前 言 II1 范围 12 规范性引用文件 13 术语和定义 34 水污染物排放控制要求 45 大气污染物排放控制要求 66 污染物监测要求 87 达标判定 108 标准的实施与监督 11 前 言本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与监督等相关规定。本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。本标准根据GB/T 1.1起草。本标准为首次发布。本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。本标准起草单位：江苏省环境科学研究院、江苏省环科咨询股份有限公司。本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准。半导体行业污染物排放标准1 范围本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与监督。本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。半导体企业与污水集中处理设施采用协商方式确定企业水污染物间接排放限值时，污水集中处理