中华人民共和国建材行业标准 ???  ? 本标准由全国建筑用玻璃标准化技术委员会??／???归口。 卒标准负责起草单位：浙江中力控股集凹有限公司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。 本标准参加起草单位：金晶???有限公司、秦皇岛耀华玻璃股份有限公司、威海监星玻璃股份有 限公司、格兰特工程玻璃?猩?有限公司、信义玻璃工程???有限公司、上海北玻镀膜技术工业有限 公司、浙江东亚工程玻璃有限公司  ? 贮存。 ?? ?? ????? 射出，在被镀基体表面沉积或反应成膜的工艺过程。 ????? 工艺过程。  ??—?? 磁控溅射过程中用于产生等离了体或发生特定化学反应的一种或儿种气体。化学气相沉积过程中镀 在磁控溅射镀膜工艺中，承载靶材实现磁控溅射的装置。装置内包括磁性材料、冷却装置、屏蔽装 置等。 可热加工的镀膜玻璃?? ? ? 磁控溅射镀膜玻璃生产所用材料包括玻璃、靶材、工艺气体、保护膜、干燥剂等，各种材料均麻符 磁控溅射镀膜玻璃可选用平板玻璃、防火玻璃、钢化玻璃、夹层玻璃、半铡化玻璃、压花玻璃、超 白浮法玻璃等作为基体材料。 ? ? 包括保护膜、干燥剂、隔离粉、珍珠棉、惰性气体等。  ? ? ? ?? 备有在线分光光度汁、离线分光光度汁、耐磨试验机和方块电阻测量仪。宜具备辐射率测定仪、红外分 光光度计、雾度仪、台阶仪、椭偏仪等。 ? ? ? 冷却水系统、水处理系统等装置。 ? ?趴亟ι涠颇すひ帐业幕?≌婵斩然掠庞?×?～?。 ? 磁控溅射镀膜玻璃生产工艺流程图 生产前应进行如下检查： ?清洗用去离子水的电阻： 镀膜工艺室的真空度； ?靶材配置： 工艺气体的种类、纯度、压力 冷却系统的工作状态：