液晶车间灌晶工序操作培训教材 康惠(惠州)半导体有限公司液晶显示器厂 生产工艺部 江龙 目 录LCD生产流程简介 灌晶工序设备简介3 灌晶原理简介 灌晶操作流程及工艺参数5 灌晶主要不良及改善 1-1 LCD生产流程 1-2 前工序流程 上PIN脚 （压斑马纸） 1-3 后工序流程 分片入条 真空灌晶 整形封口 液晶清洗 半成品包装 磨边 功能测试 外表丝印 过压喷码 玻璃分割 贴偏光片 包装出货 切偏光片 COG测试 LCM邦定 光台检查 QA检查 QC检查 2-1 灌晶设备-灌晶机 卧式灌晶机 立式灌晶机（润正） 3-1 灌晶原理简介 先将空盒内的空气抽出，利用压力差与毛细原理，填充液晶至空盒内 抽真空 高真空 抽真空﹝<10-2 mba，﹞ 破真空 ﹝ N2 ，30L/min﹞ 4-1 灌晶房环境要求 灌晶房温湿度要求 湿度≤65%，温度保持22℃±2.5℃。 灌晶房洁净度要求 气压要为正压，空气洁净度要满足≤5000（0.5um）个/立方英尺 要求： 1.头发不可外露,口罩遮住口鼻,工作过程中凡要接触液晶及其灌晶相关治具须带净化手套（乳胶手套）。 2.净化服每周清洗一次；脏污破损的净化服须及时申请更换 4-0 灌晶房环境要求 要求： 1.头发不可外露,口罩遮住口鼻,工作过程中凡要接触液晶及其灌晶相关治具须带净化手套（乳胶手套）。 2.净化服每周清洗一次；脏污破损的净化服须及时申请更换 灌晶房作装要求 4-0 灌晶操作流程 上灌晶架 上玻璃 灌晶准备 脱泡 抽真空 产品下架 静置 检查出货 充氮气 下架 4-1 灌晶前准备 1.灌晶前确认设备是否正常运转，真空度是否能达工艺要求。 2.搬玻璃人员将玻璃放置待灌晶货架，并作好标识，由灌晶员工自己再将产品端到相应炉前。 3.确认待灌液晶型号及《LC确认表》与待生产品种《生产制程控制卡》上液晶型号一致 1.确认液晶型号正确。 2.所灌产品与相对应液晶摆放的位置是同一个位置方向 ； 4-2 上灌晶架 1.将灌晶架放入炉内，确认灌晶架必须放置平稳，若有倾斜，调节架子底部螺丝，直至水平 2.接通电源 3.检查灌晶架上升与下降运作处于正常状态 4.将灌晶条或海绵条放在灌晶架上（已上好液晶） 1.更换产品或液晶型号时，需用无尘布（纸）清洁灌晶炉四壁，清洁顺序：由上至下，由内至外。 2.上液晶时，需确认液晶型号是否正确 接通电源 确认液晶型号 4-2 上灌晶架 4-3 上玻璃 1.确认灌晶架处于升起状态 2.确认海绵条的高度保持水平 3.确认灌晶条的定位孔与灌晶口是否在一条线上 4.确认灌晶品种及液晶型号无误后，将已入条的玻璃置于灌晶架上，放好后要检查是否放平，需注意放置时手套和液晶口不得沾上海绵条上的液晶 1.往真空炉内放玻璃时，严禁戴已沾染液晶的手套，以免污染灌晶口。 2.海绵条不能有凹陷太严重的，以免灌不到液晶，对易气泡液晶海绵条不能有凸起，以免粘灌晶口，抽真空异常。 3.分粒数≥70的小玻璃要尽量放上挡条压住玻璃（让整体受力在玻璃上）。炉内同层灌晶架，只能灌注同一种液晶 4-3 上玻璃 确认定位孔与液晶口在同一直线 上玻璃 小玻璃需压板 4-4 液晶脱泡 1.关闭灌晶炉门，按“抽气阀开”键。 2.待真空度抽至10mbar时，反复进行充气-抽气-充气-抽气操作，对炉内的液晶及海绵条进行脱泡 1.脱泡时间不得低于1分钟 2.对于新上液晶，需在上玻璃前就需脱泡一次 4-4 液晶脱泡 4-4 液晶脱泡 注意事项： 脱泡起泡严重的液晶， 需不上玻璃先脱泡至无泡状态，注意不可让液晶溢出灌晶条 上玻璃后再次脱泡，脱泡时注意液晶不可沾到液晶口；脱泡时间大于2分钟，新上海绵条脱泡时间大于5分钟，直至无泡状态 起泡严重的液晶型号：E234，E300，E310，84D6110-000，84D6100-000，MLC15690 … 4-5 抽真空 脱泡完毕后，继续抽真空，抽真空时间如下（其它自动灌晶设备抽真空参数见灌晶工艺参数表： 4-6 下架 达到规定真空度后，按“下架键”。 待下架终止灯亮后，需续抽真空2分钟以上才能关闭“抽真空阀”按“充气阀” 真空度要求： 小玻璃低于10*10ˉ2 mbar， 中玻璃低于5*10ˉ2 mbar， 大玻璃低于2*10ˉ2 mbar. 4-7 充氮气 1.待炉门自动开后，将“充气阀关”键关闭 检查架子是否下降到位 4-8 静置 1.待液晶注满玻璃后抽取几粒确认是否灌满，如灌满停留5分钟后再次抽取几粒玻璃确认，确认完后再上下架各取一条确认 1.静置过程保持炉门微开状态 2.确认灌满后需静置3-5分钟 4-9 下玻璃 1.确认玻璃灌满后按“上架”键升架。 2.取出铝条（玻璃），放置规定区域。 3.检查灌晶槽补添加液晶 补添液晶不可弄错液晶型号，且需经QA确认 4-10 灌晶后检查 1.将玻璃送至光台经光台检查是否灌满，若未灌满需通知组长或工程分析原因 4-11 自动灌晶设备灌晶参数表 卧式灌晶机灌晶参数 4-12 过滤操作 1）操作过程中需佩带乳胶手套。 2）过滤不同液晶型号后，需对过滤器进行清洗，并更换过滤膜。 3）过滤后，液晶需使用干净液晶瓶装，标示清楚，并做好相应的过滤记录。 4）过滤器为玻璃器皿，操作时应轻拿轻放。